Metclub Logo
더 나은 측정으로 가는 다리, 측정클럽! New bridge for better measurements
HOME | 게시판 | 뉴스레터    
질량관련량 온도/광도 전자기 길이/시간 환경/방사선 안전 재료물성 나노/바이오 4차산업 측정장비
img
img
자동로그인
button_member_reg img
   측정 클럽
홈페이지 img  
게시판 img  
공지사항 img    
질의&응답 img    
자료실 img    
사진자료 img    
측정클럽리스트
Home >   

  게시판 | 게시판 성격에 맞지 않는 글은 관리자에 의해 임의로 삭제될 수 있습니다.


Warning: odbc_exec() [function.odbc-exec]: SQL error: NUMBER exceeds given precision. , SQL state ERRDT in SQLExecDirect in /data01/metclub/include/oci8.inc on line 28
img 질의&응답
제목 [답변] 이온빔 스퍼터링의 원리
img
작성자 kjkim692 작성시간 2008-04-28 15:23:58 조회 9999
img
첨부파일 첨부파일없음
img
정확히 표현하자면 아르곤이 이온에 영향을 것이 아니라 아르곤 가스를 이온으로 만들어 스퍼터링하는 것입니다. 수 keV 정도 에너지를 가진 아르곤 이온을 고체 표면에 조사시키면 시료 표면의 구성 원자에 에너지를 전달하고 충분한 에너지를 얻은 표면 근처의 원자는 표면으로부터 떨어져 나옵니다. 이를 스퍼터링이라 하고 XPS나 AES 등 보통의 표면 분석에서는 시료 표면을 아르곤 이온으로 스퍼터링함으로써 표면오염층을 제거한 후에 분석을 합니다.


>Wrote By sky100 -----------------------------------
>질문에 좋은 답변 먼저 감사드립니다.
>
>분석을 하면서 Ar을 사용하여 스퍼터링을 하는데, 대강은 이해가 가는데, 아르곤이 이온빔에 어떻게 작용을 하여 스퍼터링을 하는지 자세히 알고 싶습니다. 좋은 답변 부탁드립니다.
 img  
img  질의&응답
번호 제목 작성자 작성일 ↓ 조회
  img[답변] 대기환경-실내공기질 Q&A에 글쓰기는 어떻게.. admin 2009-05-11 09:15:52 9999
59 대기환경-실내공기질 Q&A에 글쓰기는 어떻게.. giantu 2009-05-08 09:52:25 9999
58 실내공기질 숙련도 시험 giantu 2009-05-07 17:33:01 9999
  img[답변] XPS의 peak에 대하여 kjwd 2008-12-22 12:55:20 9999
57 XPS의 peak에 대하여 y13c97 2008-12-20 11:29:42 9999
56 워크샵 발표자료 이용 불편[1] euisodong 2008-09-16 16:06:05 9999
  img[답변] GaAs, InGaAs 물질이 xrd 에서 나타나는 고유각도? kimcs306 2008-07-11 13:34:30 9999
54 GaAs, InGaAs 물질이 xrd 에서 나타나는 고유각도?[1] wem4848 2008-07-08 15:11:35 9999
53 [세미나] 애질런트 DC 전력 분석 측정 실습 워크샵에 초대합니다!!! telepark 2008-07-08 01:26:09 9999
52 합동표준편차 구하는방법 좀 알려주세요[1] yyj6011 2008-07-06 14:42:23 9999
51 z-scan method (material 의 비선형성 측정 방법에 대한 문의)[2] hsyu 2008-06-25 14:31:43 9999
50 EGSnrc에 대해 질문드립니다.[1] hiphopdh 2008-05-21 23:53:12 9999
  img[답변] 텐션메타 교정 여부를 알고 싶습니다. ghp444 2008-04-29 15:01:32 9999
  img[답변] 이온빔 스퍼터링의 원리 kjkim692 2008-04-28 15:23:58 9999
49 이온빔 스퍼터링의 원리 y13c97 2008-04-27 01:00:03 9999
img  1 2 3 4 5 6 7  img
개인정보처리방침 측정클럽소개 클럽소개  |  인사말  |  츨정클럽연혁  |  임무 및 역할  |  조직 및 구성  |  운영실적  |  연락처
imgimgimg
클럽검색
img img img img img img img
img
img
img
img
img
img
  img 오늘 : 1376 명   img 이달 : 38342 명   img 전체 : 20977832 명