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제목 [답변] XPS 정량분석
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작성자 kjkim692 작성시간 2008-04-26 16:00:11 조회 9999
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첨부파일 첨부파일없음
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XPS로 다성분 합금의 정량분석을 할 경우 크게 두 가지 상황을 고려하여야 합니다.

- 선택스퍼터링 : 일반적으로 표면정량분석을 위해 이온빔 스퍼터링으로 표면오염층을 제거하는데 만일 질량 차이가 큰 원소들로 이루어진 합금을 스퍼터링하면 가벼운 원소가 잘 떨어져 나가는 선택스퍼터링에 의해 표면에 질량이 큰 원소가 축적되어 표면 조성이 변한다.
- 매질효과: 분석하고자 하는 물질의 조성에 따라 광전자의 경로가 달라지므로 이에 대한 보정이 필요하다.

XPS로 다성분 합금의 정량분석을 할 경우 두 가지 방법으로 상대감도인자(relative sensitivity factor:RSF)를 구할 수 있습니다.

1. 순수한 물질을 이용한 상대감도인자 측정 : 이 경우 표면 조성의 변화 및 매트릭스 효과에 의해 조성변화가 심하므로 스퍼터링 효과와 매질효과를 정확히 보정하여야 합니다.

2. 합금으로부터 상대감도인자 측정 : 분석하고자 하는 물질과 비슷한 조성의 합금을 만들어 정량한 후 이를 기준으로 원소별 상대감도인자를 구하여 정량하는 것으로서 동일한 방법으로 원래의 조성에 가까운 분석이 가능합니다.


질문하신 내용에는 다음과 같이 답변을 드립니다.

- 표준물질은 순수한 물질로 이루어진 박판을 쓰면 됩니다.
- 합금박막 표준 시료는 한국표준과학연구원이 보급하고 있는 Fe-Ni, Pt-Co 및 W-Si 합금이 판매되고 있습니다. NIST에서도 몇 종의 합금박막을 보급하고 있습니다. 또한 한국표준연구원에서는 산업체가 필요로 하는 합금박막을 주문 제작할 수 있습니다.

- 5가지 Sample이 정확히 어떤 의미인지 모르겠습니다. 5 종류의 합금박막인지 또는 5성분으로 이루어진 합금박막을 의미하는지 잘 모르겠습니다.

자세한 내용을 김경중 (kjkim@kriss.re.kr, 042-868-5391, 010-2754-3130)에게 보내주시면상세히 답변해 드리겠습니다.


>Wrote By sky100 -----------------------------------
>XPS나 EPMA의 정확한 정량분석을 체크하여 확인을 하고싶은데, 체크할수 있는 Sample을 어떻게 구하는지좀 알려주십시요, 그리고 XPS는 엄밀하게 말하면 정량분석값이라고 할수 없다고 하는데, 그값을 어떻게 해석을 하고, 정리를 하여야하는지 궁금합니다. 한가지 더 질문이 있는데, 5가지 Sample을 실리콘 기판위에 증착을 하였는데, 위 5가지 Sample을 비교하고 싶은데, At%, intensity, Area의 값을 데이터로 얻었을때, 어떻게 비교하는것이, 가장좋은지 알려주십시요.
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