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img 질의&응답
제목 이온빔 스퍼터링의 원리
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작성자 y13c97 작성시간 2008-04-27 01:00:03 조회 9999
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첨부파일 첨부파일없음
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질문에 좋은 답변 먼저 감사드립니다.

분석을 하면서 Ar을 사용하여 스퍼터링을 하는데, 대강은 이해가 가는데, 아르곤이 이온빔에 어떻게 작용을 하여 스퍼터링을 하는지 자세히 알고 싶습니다. 좋은 답변 부탁드립니다.
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