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제목 X-선 반사율측정법을 이용한 HfO2 비교 시험
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작성자 swsong 작성시간 2017-04-25 17:58:47 조회 256
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라운드 로빈 테스트 (Round Robin Test : RRT) :
X-선 반사율측정법(X-ray Reflectometry : XRR)을 이용한 반도체 나노 박막의 두께 측정

한국표준과학연구원 X-선 응용 물성 분석팀에서 X-선 회절 측정클럽과 연계하여 나노 반도체 박막 두께 측정에 관한 측정법, 분석법, 신뢰성 및 동등성 확보를 위해 X-선 반사율측정법(X-Ray Reflectometry : XRR)을 이용한 측정 방법을 연구하고 참여 산학연간 측정 신뢰성을 공유하기 위하여 2017년 3월 X-선 회절 측정클럽 운영위원회에서 XRR을 이용한 나노 박막의 두께 측정에 관한 국내 라운드 로빈 테스트 (Round Robin Test, RRT)를 시행합니다.

참여를 원하시는 분들께서는 아래의 메일로 연락바랍니다.

주관자 : 김창수 (KRISS), e-mail : Kimcs@kriss.re.kr
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