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img 박막 분야
제목 GIWAXS와 GIXRD질문
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작성자 tqkrwns12 작성시간 2021-07-27 18:05:42 조회 75
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첨부파일 첨부파일없음
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안녕하세요 박막필름의 결정성 관련 측정을 위해 XRD를 공부, 이용하고 있는 학생입니다.

질문이 생겨 도움을 구할 수 있지않을까 해서 질문을 올리게 되었습니다.

1. 먼저 GIWAXS와 GIXRD 2개가 어떻게 다른지 여쭤보고싶습니다.
두개를 봤지만 어떻게 다른지 이해가 잘 되지 않아서 도움을 주신다면 감사드리겠습니다 ㅠㅠ

2. 또 일반적인 XRD에서 찍는 IN-Plain 측정과 GIXRD가 뭐가 다른지 여쭤보고 싶습니다.

제가 공부하기로는 GIXRD는 Grazing incidence XRD로 입사각이 3도미만인 XRD측정으로 알고있는데 GIXRD와 일반적인 XRD에서 입사각을 작게 하는것을 구분하는게 맞는건가요?

결과 그래프를 보면 GIXRD의 결과 그래프는 에발트구에 회절하는 면의 점이 찍혀있고
INPLAN에서는 OUT OF PLAIN처럼 2THETA와 INTENSITY로 결과그래프가 나와서 결과 그래프가 다르게 나왔다면 다른 측정방식이 아닐까 싶어서 질문드립니다.

감사합니다.
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img  박막 분야
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