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img 박막 분야
제목 [답변] GIWAXS와 GIXRD질문
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작성자 kimcs306 작성시간 2021-08-02 13:39:27 조회 69
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첨부파일 in-plain측정.pptx
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안녕하세요?

표준연 김창수입니다.
측정클럽에 관심을 가져주셔서 감사합니다.

<1. 먼저 GIWAXS와 GIXRD 2개가 어떻게 다른지 여쭤보고싶습니다.>

- 방사광가속기에서 거의 동일한 방법이고 경우에 따라 서로 혼동하여 사용되기도 합니다. GIWAXS는 GISAXS와 구분하여 wide angle로 측정합니다. GIWAXS와 GIX(R)D 서로의 차이는 얻고자하는 정보 또는 사용하는 샘플이라 할 수가 있습니다. GIWAXS는 X-ray Scattering 관점이고 GIXD는 X-Ray Diffraction 관점입니다. 또한 고정하는 입사각이 샘플물질의 전반사 임계각 주위에서 다를 수도 있습니다.

<제가 공부하기로는 GIXRD는 Grazing incidence XRD로 입사각이 3도미만인 XRD측정으로 알고있는데 GIXRD와 일반적인 XRD에서 입사각을 작게 하는것을 구분하는게 맞는건가요?>

- 맞습니다만 부연 설명하면... GIXRD에서는 입사각을 고정하고 detector (2theta)만 회전하여 측정하고 일반 XRD (2theta/theta 측정)에서는 입사각과 디텍터를 1:2의 속도비율로 회전하면서 측정합니다. 따라서 일반 XRD측정에서는 scattering vector가 항상 샘플표면에 수직인 방향으로 형성이 되지만 GIXRD에서는 그렇지 못합니다.

<2. 또 일반적인 XRD에서 찍는 IN-Plain 측정과 GIXRD가 뭐가 다른지 여쭤보고 싶습니다.>

- In-plain 측정은 일반 XRD와는 달리 샘플의 특성을 살펴보는 방향이 다릅니다. 즉, 일반 XRD에서는 scattering 벡터가 표면에 수직이 방향으로 형성되어 샘플 표면에 수직인 방향으로의 회절 특성을 살펴보고 in-plain 측정은 표면에 평행한 방향으로 (표면에 수직인 회절면을 이용하여) 박막의 회절특성을 측정하는 방법입니다. GIXRD는 입사각 theta는 고정하고 2theta만 변하기 때문에 항상 표면에 수직한 방향으로의 특성을 측정하지는 않지만 수직한 성분은 존재하게 됩니다.
- 참고로 이해를 돕기 위해서 in-plain 측정에 대한 그림을 첨부합니다.

도움이 되기를 바랍니다.
감사합니다.

>Wrote By -----------------------------------
>안녕하세요 박막필름의 결정성 관련 측정을 위해 XRD를 공부, 이용하고 있는 학생입니다.
>
>질문이 생겨 도움을 구할 수 있지않을까 해서 질문을 올리게 되었습니다.
>
>1. 먼저 GIWAXS와 GIXRD 2개가 어떻게 다른지 여쭤보고싶습니다.
>두개를 봤지만 어떻게 다른지 이해가 잘 되지 않아서 도움을 주신다면 감사드리겠습니다 ㅠㅠ
>
>2. 또 일반적인 XRD에서 찍는 IN-Plain 측정과 GIXRD가 뭐가 다른지 여쭤보고 싶습니다.
>
>제가 공부하기로는 GIXRD는 Grazing incidence XRD로 입사각이 3도미만인 XRD측정으로 알고있는데 GIXRD와 일반적인 XRD에서 입사각을 작게 하는것을 구분하는게 맞는건가요?
>
>결과 그래프를 보면 GIXRD의 결과 그래프는 에발트구에 회절하는 면의 점이 찍혀있고
>INPLAN에서는 OUT OF PLAIN처럼 2THETA와 INTENSITY로 결과그래프가 나와서 결과 그래프가 다르게 나왔다면 다른 측정방식이 아닐까 싶어서 질문드립니다.
>
>감사합니다.
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